氮化硅的制法有以下几种： 在1300～1400℃时将粉状硅与氮气反应； 在1500℃时将纯硅与氨作用；在含少量氢气的氮气中灼烧二氧化硅和碳的混合物;将SiCl4的氨解产物Si(NH2)4完全热分解。氮化硅可用作催化剂载体、耐高温材料、涂层和磨料等。
氮化硅的技术发展：经过长期的努力，山东氮化硅铁，直至1955年氮化硅才被重视，氮化硅铁厂，七十年代中期才真正的制得了高质量、低成本，有了广泛重要用途的氮化硅陶瓷制品。我国自80年代中期开始研究氮化硅技术。
氮化硅性质：化学式Si3N4。白色粉状晶体;熔点1900℃，密度3.44克/厘米(20℃)；有两种变体：α型为六方密堆积结构；β型为似晶石结构。氮化硅有杂质或过量硅时呈灰色。氮化硅是世界上坚硬的物质之一。
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