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氮化硅技术发展:氮化硅是在人工条件下合成的化合物。虽早在140多年前就直接合成了氮化硅,湖北氮化硅铁,但当时仅仅作为一种稳定的“难熔”的氮化物留在人们的记忆中。二次大战后,氮化硅铁价格,科技的迅速发展,迫切需要耐高温、高硬度、高强度、...


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氮化硅技术发展:氮化硅是在人工条件下合成的化合物。虽早在140多年前就直接合成了氮化硅,湖北氮化硅铁,但当时仅仅作为一种稳定的“难熔”的氮化物留在人们的记忆中。二次大战后,氮化硅铁价格,科技的迅速发展,迫切需要耐高温、高硬度、高强度、抗腐蚀的材料。


氮化硅物理性质:相对分子质量140.28。灰色、白色或灰白色。属高温难溶化合物,氮化硅铁粉,无熔点,抗高温蠕变能力强,不含粘结剂的反应烧结氮化硅负荷软化点在1800℃以上;六方晶系。晶体呈六面体。反应烧结法制得的Si3N4密度为1.8~2.7g/cm3,热压法制得Si3N4密度为3.12~3.22g/cm3。


氮化硅合成方法:氮化硅的晶胞参数与单质硅不同。因此根据沉积方法的不同,生成的氮化硅薄膜会有产生张力或应力。特别是当使用等离子体增强化学气相沉积技术时,能通过调节沉积参数来减少张力。


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