氮化硅合成方法：氮化硅的晶胞参数与单质硅不同。因此根据沉积方法的不同，生成的氮化硅薄膜会有产生张力或应力。特别是当使用等离子体增强化学气相沉积技术时，氮化硅制造，能通过调节沉积参数来减少张力。
氮化硅生产方法：热压烧结法则是将氮化硅粉与少量添加剂（如MgO、Al2O3、MgF2、AlF3或Fe2O3等），在19.6MPa以上的压力和1600~1700℃条件下压热成型烧结。通常热压烧结法制得的产品比反应烧结制得的产品密度高，工业上生产氮化硅，性能好。
正是由于氮化硅陶瓷具有如此优异的特性，广东氮化硅，人们常常利用它来制造轴承、气轮机叶片、机械密封环、模具等机械构件。如果用耐高温而且不易传热的氮化硅陶瓷来制造发动机部件的受热面，不仅可以提高柴油机质量，节省燃料，而且能够提高热效率。
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