氮化硅材料性能:在化学工业,氮化硅铁粉厂家,氮化硅陶瓷用作耐磨、耐蚀部件。如球阀、泵体、燃烧汽化器、过滤器等。氮化硅陶资材料在电子、军事和核工业方面也有广泛应用。氮化硅在陶瓷材料中其综合力学性能好。
如果要在半导体基材上沉积氮化硅,氮化硅铁粉,有两种方法可供使用:
1.利用低压化学气相沉积技术在相对较高的温度下利用垂直或水平管式炉进行。
2.等离子体增强化学气相沉积技术在温度相对较低的真空条件下进行。
氮化硅物理性质:莫氏硬度9~9.5,维氏硬度约为2200,显微硬度为32630MPa。熔点1900℃(加压下)。通常在常压下1900℃左右分解。比热容0.71J/(g·K)。生成热为-751.57kJ/mol。热导率为(2-155)W/(m·K)。线膨胀系数为2.8~3.2×10-6/℃(20~1000℃)。
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