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氮化硅合成方法:氮化硅的晶胞参数与单质硅不同。因此根据沉积方法的不同,生成的氮化硅薄膜会有产生张力或应力。特别是当使用等离子体增强化学气相沉积技术时,氮化硅铁粉生产厂,能通过调节沉积参数来减少张力。 氮化硅性质:化学式Si3N4。白色...


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氮化硅合成方法:氮化硅的晶胞参数与单质硅不同。因此根据沉积方法的不同,生成的氮化硅薄膜会有产生张力或应力。特别是当使用等离子体增强化学气相沉积技术时,氮化硅铁粉生产厂,能通过调节沉积参数来减少张力。


氮化硅性质:化学式Si3N4。白色粉状晶体;熔点1900℃,密度3.44克/厘米(20℃);有两种变体:α型为六方密堆积结构;β型为似晶石结构。氮化硅有杂质或过量硅时呈灰色。氮化硅是世界上坚硬的物质之一。



氮化硅其他应用:氮化硅还能应用到太阳能电池中。用PECVD法镀氮化硅膜后,氮化硅铁粉,不但能作为减反射膜可减小入射光的反射,而且,氮化硅铁粉价格,在氮化硅薄膜的沉积过程中,反应产物氢原子进入氮化硅薄膜以及硅片内,起到了钝化缺陷的作用。


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