氮化硅其他应用：氮化硅氮硅原子数目比并不是严格的4:3，高纯氮化硅，而是根据工艺条件的不同而在一定范围内波动，氮化硅原料，不同的原子比例对应的薄膜的物理性质有所不同。用于超高温燃气透平，浙江氮化硅，飞机引擎，电炉等。
氮化硅的制法有以下几种： 在1300～1400℃时将粉状硅与氮气反应； 在1500℃时将纯硅与氨作用；在含少量氢气的氮气中灼烧二氧化硅和碳的混合物;将SiCl4的氨解产物Si(NH2)4完全热分解。氮化硅可用作催化剂载体、耐高温材料、涂层和磨料等。
氮化硅性质：化学式Si3N4。白色粉状晶体;熔点1900℃，密度3.44克/厘米(20℃)；有两种变体：α型为六方密堆积结构；β型为似晶石结构。氮化硅有杂质或过量硅时呈灰色。氮化硅是世界上坚硬的物质之一。
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