氮化硅与水几乎不发生作用；在浓强酸溶液中缓慢水解生成铵盐和二氧化硅；易溶于氢氟酸，加工氮化硅，与稀酸不起作用。浓强碱溶液能缓慢腐蚀氮化硅，氮化硅，熔融的强碱能很快使氮化硅转变为硅酸盐和氨。氮化硅在 600℃以上能使过渡金属氧化物、氧化铅、氧化锌和二氧化锡等还原，并放出氧化氮和二氧化氮。
氮化硅在钢铁冶炼方面：氮化硅涂料能有效解决钢坯热处理过程中氧化烧损问题。实验结果表明，纳米硅酸盐抗氧化涂料防氧化效果明显，能使原来普通热轧板所产生的3％-5％的氧化皮降到0.1％-0.8％，使不锈钢热轧板所产生的1％-3％的氧化皮降到0.2％以下。
