氮化硅物理性质：不溶于水。溶于氢氟酸。在空气中开始氧化的温度1300~1400℃。比体积电阻，20℃时为1.4×105 ·m，500℃时为4×108 ·m。弹性模量为28420~46060MPa。耐压强度为490MPa（反应烧结的）。
氮化硅技术发展：氮化硅是在人工条件下合成的化合物。虽早在140多年前就直接合成了氮化硅，但当时仅仅作为一种稳定的“难熔”的氮化物留在人们的记忆中。二次大战后，氮化硅铁粉公司，科技的迅速发展，迫切需要耐高温、高硬度、高强度、抗腐蚀的材料。
氮化硅其他应用：氮化硅还能应用到太阳能电池中。用PECVD法镀氮化硅膜后，浙江氮化硅铁粉，不但能作为减反射膜可减小入射光的反射，氮化硅铁粉制造，而且，在氮化硅薄膜的沉积过程中，反应产物氢原子进入氮化硅薄膜以及硅片内，起到了钝化缺陷的作用。
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