浙江重介质硅铁粉,选矿用硅铁粉批发,豫北冶金厂

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浙江重介质硅铁粉,选矿用硅铁粉批发,豫北冶金厂

如果要在半导体基材上沉积氮化硅,广东重介质硅铁粉,有两种方法可供使用:1.利用低压化学气相沉积技术在相对较高的温度下利用垂直或水平管式炉进行。2.等离子体增强化学气相沉积技术在温度相对较低的真空条件下进行。 氮化硅其他应用:氮化硅还能...


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如果要在半导体基材上沉积氮化硅,广东重介质硅铁粉,有两种方法可供使用:

1.利用低压化学气相沉积技术在相对较高的温度下利用垂直或水平管式炉进行。

2.等离子体增强化学气相沉积技术在温度相对较低的真空条件下进行。



氮化硅其他应用:氮化硅还能应用到太阳能电池中。用PECVD法镀氮化硅膜后,不但能作为减反射膜可减小入射光的反射,而且,在氮化硅薄膜的沉积过程中,反应产物氢原子进入氮化硅薄膜以及硅片内,起到了钝化缺陷的作用。


氮化硅制品的生产工艺:反应烧结法生产氮化硅制品是将磨细的硅粉(粒度一般小于80μm),用机压或等静压成型,坯体干燥后,研磨重介质硅铁粉,在氮气中加热至1350~1400℃,在烧成过程中同时氮化而制得。采用这种生产方法,原料条件和烧成工艺及气氛条件对制品的性能有很大的影响。


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