氮化硅物理性质：相对分子质量140.28。灰色、白色或灰白色。属高温难溶化合物，无熔点，重介质选矿用硅铁粉，抗高温蠕变能力强，不含粘结剂的反应烧结氮化硅负荷软化点在1800℃以上；六方晶系。晶体呈六面体。反应烧结法制得的Si3N4密度为1.8~2.7g/cm3，山东重介质硅铁粉，热压法制得Si3N4密度为3.12~3.22g/cm3。
氮化硅合成方法：氮化硅的晶胞参数与单质硅不同。因此根据沉积方法的不同，生成的氮化硅薄膜会有产生张力或应力。特别是当使用等离子体增强化学气相沉积技术时，选矿用硅铁粉，能通过调节沉积参数来减少张力。
氮化硅材料性能：氮化硅的强度很高，尤其是热压氮化硅，雾化重介质硅铁粉，是世界上坚硬的物质之一。它极耐高温，强度一直可以维持到1200℃的高温而不下降，受热后不会熔成融体，一直到1900℃才会分解，并有惊人的耐化学腐蚀性能，能耐几乎所有的无机酸和30%以下的烧碱溶液，也能耐很多有机酸的腐蚀；同时又是一种高性能电绝缘材料。
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