氮化硅材料性能：在化学工业，氮化硅陶瓷用作耐磨、耐蚀部件。如球阀、泵体、燃烧汽化器、过滤器等。氮化硅陶资材料在电子、军事和核工业方面也有广泛应用。氮化硅在陶瓷材料中其综合力学性能好。
氮化硅其他应用：氮化硅陶瓷材料可用于高温工程的部件，冶金工业等方面的高级耐火材料，氮化硅性能，化工工业中抗腐蚀部件和密封部件，浙江氮化硅，机械加工工业的刀具和刃具等。由于氮化硅与碳化硅、氧化铝、二氧化钍、氮化硼等能形成很强的结合，氮化硅加工，所以可用作结合材料，以不同配比进行改性。
如果要在半导体基材上沉积氮化硅，有两种方法可供使用：
1.利用低压化学气相沉积技术在相对较高的温度下利用垂直或水平管式炉进行。
2.等离子体增强化学气相沉积技术在温度相对较低的真空条件下进行。
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